晶圆硅片切割液WFR220
产品概述:
晶圆硅片切割液WFR220主要用于单晶硅、多晶硅棒的金刚石砂线开方、切片工艺,具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能,切割后的硅片表面TTV小,无线痕,可有效降低破损率,提高产品良率。。
产品采用进口高分子润滑剂、表面活性剂及各种助剂,环保,易生物降解,安全,不伤手。
适用范围:
适用于各类晶圆圆片、硅片、单晶硅、多晶硅、晶体及LED陶瓷基板等硬脆材料切割工艺。
产品特点:
{C}1. {C}优异的润滑作用,可有效防止切割过程中硅片发生脆性崩裂或者划痕产生,降低硅片的表面粗糙度和表面翘曲度,保证工件准确度。
{C}2. {C}工件加工后干净,易清洁。
{C}3. {C}加工时粉末易沉降,工作液寿命长
{C}4. {C}工作液对设备机台无明显腐蚀
{C}5. {C}产品环保,温和无刺激,可生物降解,废液容易处理
产品参数:
晶圆硅片切割液WFR220
特性 单位 数据
外观 ——透明至淡黄色液体
透明液体
气味 ——无
倾点°C -5
运动粘度m㎡/s, 40°C 6.8-8.0
密度g/mm³,15°C 1.0± 0.10
PH值5% 7-9
使用工艺与方法:
1.兑水比例1:10-50,产品在循环使用过程中,可以长期保持清洁透明状态;
2.工作液消耗变淡时,补充适量的工作液或原液即可;
3.长时间循环工作后,待静置沉淀,上层清液仍可以继续使用.
保质期:12个月
包装规格:5L/桶, 25L/桶,200L/桶(铁桶)
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工厂地址:东莞市寮步镇石步工业园成业路1号
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