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研尔为您介绍衬底蓝宝石片制程

从蓝宝石晶锭到最后的衬底蓝宝石片，主要包括以下步骤：长晶→ 掏棒→ 头尾截断→滚磨→晶棒定向→切片→倒角磨边→粗精研磨→CMP抛光。每一个步骤均需要配备不同的金刚石工具来完成，主要工具有钻头、砂轮、线锯等。
 
长晶：利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体；
 
掏棒：使用蓝宝石钻头（高精度套料钻头）从蓝宝石晶体中掏出蓝宝石晶棒；
 
滚磨：使用金刚石砂轮（树脂结合剂或金属结合剂）进行晶棒的结晶方向平研、外径研磨，得到精确的外圆尺寸精度；（19.现在粗磨一般是金属砂轮、精磨是陶瓷砂轮，也有企业用树脂砂轮粗精磨）
 
定向：在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置，便于精准切片加工；
 
切片：使用金刚石线锯将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片；
 
倒角磨边：采用金属结合剂金刚石砂轮将晶片边缘修整成圆弧状，改善薄片边缘的机械强度；
 
研磨：去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平面度。分粗研磨和精研磨，涉及的磨料磨具产品主要有金刚石磨盘、金刚石研磨液、金刚石背面减薄砂轮等；
 
抛光：改善晶片粗糙度，使其表面达到外延片磊晶级精度，多使用CMP抛光液。
 
研尔为您提供表面处理的化工技术解决方案和及相应的产品服务，主要：蓝宝石研磨液,PCBA电路板保护胶,锂电池铝片清洗剂,光学玻璃清洗剂,锂电池镍片清洗剂,焊接前清洗剂,铝合金钝化液,铝合金无铬钝化液,镍材钝化液,其它新型行业清洗剂，有自已的科研实验配套设备和一支优秀的化工科研队伍,切实地解决了众多客户的各种实际工艺困难和需求,帮助客户提升了产品档次,解决了他们转型升级和迅速发展中的后顾之忧，获得了业界良好的声誉和口碑，我们只专注于表面处理，专业成就卓越！联系电话：13509231586.
点击次数：  更新时间：2021-10-31 19:56:21  【打印此页】  【关闭】
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